เครื่องวิเคราะห์โดยใช้การดูดซับทางเคมี (Chemisorption) เป็นเครื่องมือวิเคราะห์พื้นที่ผิวของตัวเร่งปฏิกิริยา โดยมีซอร์ฟแวร์ของเครื่อง AutoChem II และเครื่องแมสสเปคโตรมิเตอร์ ในการควบคุมการวิเคราะห์ผลแบบอัตโนมัติสามารถแยกปฏิกิริยาหรือวิเคราะห์ปฏิกิริยา โดยผู้วิเคราะห์สร้างและออกแบบ Sample file ซึ่งขึ้นอยู่กับความจำเพาะเจาะจงของตัวอย่างที่ วิเคราะห์ ก๊าซที่ใช้งาน มี 6 ถัง ดังนี้ 1) ก๊าซ He 99.999% 2) ก๊าซ Ar 99.999% 3) ก๊าซ CO₂ 10% ใน He 4) ก๊าซ O₂ 10% ใน He 5) ก๊าซ H₂ 10% ใน He 6) ก๊าซ NH₃ 0.2% ใน He โดยมีการควบคุมอุณหภูมิและอัตราการไหลของก๊าซต่างๆ การวิเคราะห์ตัวอย่าง ดังนี้
1. การวิเคราะห์ Temperature - Programmed Desorption (TPD)
2. การวิเคราะห์ Temperature - Programmed Reduction (TPR)
3. การวิเคราะห์ Temperature - Programmed Oxidation (TPO)
4. การวิเคราะห์แบบ Pulse Chemisorption